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MSK-PSC-SP5精密旋涂儀是一種利用旋轉離心力的涂布裝置,它通過旋轉物體，使涂料均勻地附著在其表面,設備數字按鍵方便準確地設定轉速和時間，按鍵互鎖，防止誤操作飛片；該設備具有穩(wěn)定的性能參數，適用于多種基片，包括硅片和其他材料，具有良好的涂布均勻性和轉速穩(wěn)定度。本設備可置于手套箱內操作，外形緊湊，操作面板簡單易用，本設備用于薄膜制備行業(yè)，適用于鈣鈦礦涂布。
| 功能特點 |
|---|
旋涂機裝置集成了無油真空泵、過濾器、軟管、真空治具裝置；
設備具有一定的抗振動強度，確保旋轉過程中的穩(wěn)定性；
設備料盤由耐腐蝕材料制成；方便清洗，防酸防堿防腐蝕.；
機臺配置治具，適用于不同尺寸的基材涂層；
兩個可編程段，轉速控制在500-8000rpm；
設備可在1-60秒的時間內可編程；
設備有真空檢測功能，保護基片在旋轉過程中，不會由于誤操作飛片；
設備可在手套箱中使用。
精密旋涂儀
| 技術參數 | |
|---|---|
| 電 源 | 單相AC220V±3%，頻率50HZ ，功率約200W |
| 工作環(huán)境 | 溫度：0℃-40℃，相對濕度：＜80% |
| 涂布類型 | 旋涂式 |
| 基片尺寸 | Max：100mmx100mm Min：5mmx5mm |
| 旋涂機室的直徑 | 大于145mm |
| 參數設定 | 觸摸屏設置參數 |
| 額定轉速 | 0-12000rpm |
| 工作轉速 | 500-8000rpm(可設定) |
| 抽氣接口 | φ6mm 快擰接口 |
| 觸摸屏 | 7寸 |
| 設備尺寸 | 約W245*D360*H240mm |
| 重 量 | 約15KG |
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