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UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機

UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機

簡要描述：UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。

產(chǎn)品型號：

所屬分類：拋光機

更新時間：2024-11-05

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

詳情介紹

UNIPOL-1203 化學(xué)機械磨拋機，適用于CMP 平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機研磨部分采用防腐材料，

耐化學(xué)腐蝕，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面

型加工的需求。

 性能指標(biāo)和基本配置
產(chǎn)品名稱UNIPOL-1203 化學(xué)機械磨拋機
安裝條件本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh 下使用。
1、水：設(shè)備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及下排水
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：無
4、工作臺：尺寸 800mm×600mm×700mm，承重200kg 以上
5、通風(fēng)裝置：不需要
主要特點1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為每 25mm×25mm 小于 0.0025mm）。
2、超精旋轉(zhuǎn)軸（托盤端跳小于 0.01mm）。
3、設(shè)有兩個加工工位，可分別進行控制。
4、配有全自動控制觸摸屏面板，可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時間。
5、配置自動滴料器，流量速率可視化調(diào)整，自動研磨和拋光。
6、配置 GPC-100A 精密磨拋控制儀，可調(diào)節(jié)壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕。
技術(shù)參數(shù)主機部分

1、電源:220V

2、功率:450W

3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm

4、磨拋工位:2 個

5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15 檔

6、托盤端跳:0.008/250mm

7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm

8、載樣盤:φ105mm

9、修盤環(huán):φ127.5mm


GPC-100A 精密磨拋控制儀

1、載樣盤直徑：?103mm

2、載樣盤軸向行程：12mm

3、數(shù)顯表精度：0.001mm

4、載樣盤可調(diào)加載壓力：0.1kg-2.1kg

5、壓力確認儀有效量程：1g-5000g

6、樣品裝卡方式：真空吸附

7、承載樣件尺寸：直徑≤ 103mm、厚度≤12mm

8、尺寸：外徑 146mm，高266mm


自動滴料器

SKZD-2 滾筒滴料器

1、容積：1.5L

2、流量：0-35ml/min

3、尺寸：170×290×350mm；重量：3kg

SKZD-4 自動滴料器

1、加液泵：4 個

2、料液瓶：600ml/瓶

3、計時范圍：1-999min

4、流量：0.1ml/min-10ml/min

5、尺寸：230×370×450mm；重量：10kg



產(chǎn)品規(guī)格1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm
2、重量:74Kg
標(biāo)準配件1
鑄鐵研磨盤
1個
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2不銹鋼拋光盤
1個
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3載物盤
1個
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4修盤環(huán)
1個
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5SKZD-2 滴料器
1個
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6SKZD-4 自動滴料器
1個
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7GPC-100A 精密磨拋控制儀
1個
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8拋光墊（磨砂革、合成革、聚氨酯）
各1片
image.png
9剛玉研磨微粉
0.5kg
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10石蠟棒
4個
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可選配件1、YJXZ-12 攪拌循環(huán)泵
2、精密測厚儀
3、陶瓷研磨盤
4、玻璃研磨盤
5、磁性樹脂金剛石研磨片

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