PCE-80 8.5英寸等離子清洗機是一款較大型的等離子清洗機,等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。
PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機,等離子腔體為 8.5 “dia x 14.4“L的石英腔體,采用的射頻電源頻率為13.56MH,功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備功率高,可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應(yīng)用,對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。
GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng),主要由射頻發(fā)生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件下,迅速活化和清理材料表面。例如單晶片、光學(xué)元件、塑料等廣泛的材料。 為了獲得高質(zhì)量的外延薄膜或者光學(xué)涂層,預(yù)*行表面處理可以得到顯著的效果。
GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品,有自動控制的樣品臺,就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺(帶有真空吸盤和控制盒)。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學(xué)元件和塑料等,也可在常壓下進行等離子增強
PCE-05石英真空等離子清洗機石英圓形真空腔體,腔體處理溫度低,避免長時間等離子處理造成的腔體溫度過高,確保對樣品表面沒有造成熱影響。 電源:采用*電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果,頻率13.56MHZ,功率0-600W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配。 放電技術(shù):特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置,確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。